Çeşitli Gaz Akış Hızı Koşullarında Üretilen Hidrojenlenmiş Amorf Karbon İnce Filmlerin Optik Bant Aralıklarının İncelenmesi

Abstract

Buçalışmada, metan (CH4) plazma gazı akış hızı değiştirilereküretilmiş hidrojenlenmiş amorf karbon (a-C:H) ince filmlerin optik bantaralıkları geçirgenlik deneyleri aracılığı ile incelenmiştir. Değerlendirmelersonucunda, CH4 akış hızının ince film kalınlıklarına doğrudan biretkisi olmadığı tespit edilmiştir. Bunun yanı sıra, CH4 gazının akışhızının optik bant aralığı değerlerine bağlılığının doğrusal olmadığı açığaçıkarılmıştır. Bu bağlılık matematiksel olarak modellenerek, elde edilen modeliletişim teknolojisinde sıklıkla kullanılan dalgaboyu değerlerinde verimliçalışma olasılığı yüksek olan ince filmlerin üretiminde kullanılabilecekparametrelerin tespitinde kullanılmıştır.

Keywords

• amorf ince filmler
• optik bant aralığı
• geçirgenlik spektrokopisi